半导体行业精密清洗机_最新产品_常州旭联自动化设备有限公司

半导体行业精密清洗机

作者：　来源：　日期：2016-12-26 19:21:48　人气：623　评论：0

产品概述：

u 主要清洗零件表面的氧化物，如钎焊铝管，稀有金属（钽、钛、钨钼等），超纯铜等精密产品。

u 清洗工艺：超声波表面清洗——超声波多级精密清洗（酸洗、碱洗）——多级干燥（真空）

设备特点：

u 采用多套机械手控制工艺节拍，机械手采用伺服电机运行更加稳定。

u 采用多级酸洗和超声波精密清洗，真空/热风干燥。

u PLC全程序控制及触摸屏人机界面。可多套程序控制，满足不同产品的清洗工艺。

uPP防腐材料全封闭设计，配有酸气回收过滤系统，满足排放标准。

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